对肺间质疾病的检查，首先是要明确肺间质发生的程度以及是否存在，要做的检查是高分辨率ct,也可检查风湿常规ANA抗体谱以及包括早期类风湿三项，或者血管炎的检查，包括安卡等方面，也包括做必要的免疫球蛋白的检查或者蛋白电泳的检查等，这都是对肺间质纤维化进行病因诊断的常用手段。少见的手段也包括过敏原等方面的检查，也可通过气管镜的方法做肺活检，可能也会需要用到开胸肺活检的方法来取得病理进行检查，最常见还是血清学以及影像学的检查。
在临床当中也发现有些患者经过了以前的检查认为有肺间质纤维化，经过检查肺间质纤维化最有效的诊断手段也就是高分辨率ct来进行检查时，发现患者并不存在这样的情况，所以肺间质纤维化的患者，首先要通过高分辨率的肺ct来诊断肺间质纤维化是否的确存在，而且存在的程度和特点，这是最基本的检查。
如果患者的确存在肺间质纤维化，下一步要做的是要从继发性的肺间质纤维化最常见类型里面去筛选。风湿性疾病或者风湿类疾病是患者肺间质纤维化最常见病因，对于其他方面，如果对肺间质纤维化不能明确病因，可对肺的病因进行诊断。当然这种方法因为属于创伤性的检查，临床当中用的较少。